スパッタリング／建築用語辞典／建築SOHO.net

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建築用語辞典

スパッタリング

よみ：すぱったりんぐ
50音別：す
種類別：機械

二つの電極を置き、数千～数万Ｖの電流を加えた時、陰極側の金属が陽極側にぱちぱちと飛散して付着する現象

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